先端化学工学ジャーナル

概要

PLD 技術によって堆積された金薄膜への入射 FS レーザー出力の影響

アトゥイー T、ケードル MA、ファシー N、バドル Y

入射フェムト秒レーザー出力が異なる金薄膜をパルスレーザー堆積法 (PLD) で作製し、堆積した薄膜の形成と均一性に対する入射フェムト秒レーザーパルスの影響を評価しました。この研究に使用したレーザーパルスは、波長 800 nm、パルス持続時間 20 fs、繰り返し周波数 1 kHz です。薄膜のデータは、入射フェムト秒レーザー出力 400、500、600、750 mW、圧力 0.3 m Torr、ターゲット基板距離 6.5 cm で取得されました。堆積時間中は 200°C に保たれたガラス基板を使用しました。堆積した Au 薄膜は、原子間力顕微鏡 (AFM)、走査型電子顕微鏡 (SEM)、エネルギー分散型 X 線分光法 (EDX) で特性評価されました。実験データでは、入射フェムト秒レーザーパルスの平均値の増加に伴って粒子の形状とサイズが大きくなり、適切に形成された金薄膜であることがわかりました。また、結果は、400 mW フェムト秒レーザー出力では、実際の密度が 60 粒子 μm ^{2 (μm 2}内の粒子数) に増加し、レーザー出力 500 および 600 mW では固定され、レーザー出力 750 mW では減少することを示しています。